CNR Institutional Research Information System

Strain Evaluation in SiC MEMS Test Structures

M Bosi;G Attolini;BE Watts;C Frigeri;F Rossi;A Poggi;A Roncaglia;F Mancarella;
2009
2009
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
M. T. Swihart, D. BArreca, R. A. Adomaitis and K. Woerhoff
EuroCVD 17/ CVD 17
EuroCVD 17/ CVD 17
1031
Sì, ma tipo non specificato
4-9 Oct. 2009
vienna
8
none
M. Bosi; G. Attolini; B.E. Watts; C. Frigeri; F. Rossi; A. Poggi; A. Roncaglia; F. Mancarella; O. Martínez; V. Hortelano;
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/69368
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