CNR Institutional Research Information System

Stress evaluation on hetero-epitaxial 3C-SiC film on (100) Si substrates

Anzalone R;Piluso N;D'Arrigo G;La Via;
2012
2012
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
717-720
521
524
Sì, ma tipo non specificato
13
info:eu-repo/semantics/article
262
Anzalone, R; Camarda, M; Locke, C; Carballo, J; Piluso, N; D'Arrigo, G; Severino, A; Volinsky, ; A, A; Saddow, ; S, E; Via, La; F,
01 Contributo su Rivista::01.01 Articolo in rivista
none
01.01 Articolo in rivista
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