Stress relaxation study in 3C-SiC microstructures by micro-raman analysis and finite element modeling

Piluso N;Anzalone R;La Magna A;D'Arrigo G;La Via;
2013

2013
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
740-742
673
676
Sì, ma tipo non specificato
8
info:eu-repo/semantics/article
262
Piluso, N; Anzalone, R; Severino, A; Canino, A; La Magna, A; D'Arrigo, G; Via, La; F,
01 Contributo su Rivista::01.01 Articolo in rivista
none
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