CNR Institutional Research Information System

Micro-Raman analysis of a micromachined 3C-SiC cantilever

Piluso N;Anzalone R;D'Arrigo G;La Magna A;La Via;
2012
2012
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
717-720
525
528
Sì, ma tipo non specificato
8
info:eu-repo/semantics/article
262
Piluso, N; Anzalone, R; Camarda, M; Severino, A; D'Arrigo, G; La Magna, A; Via, La; F,
01 Contributo su Rivista::01.01 Articolo in rivista
none
01.01 Articolo in rivista
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/181841
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