CNR Institutional Research Information System

Competition between Oxidation and Recrystallization in Ion Amorphized (0001) 6H-SiC

Poggi A;Parisini A;Solmi S;Nipoti R
2004
2004
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
SiC
oxidation
pre-amorphisation
recrystallization
04.03 Poster in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/86699
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